Задание на курсовое проектирование
Исходные данные:
Часть 1 Определение состава газовой фазы и окисляемости металлов при термообработке оксидного катода.
-Температурный интервал Тк=(700…1400)К
-Материалы: катод SrO(75%)+CaO(25%); металл керна Mn→Mn3O4
-Суммарное давление в системе - 103 Па
1. Оксидный катод: устройство, материалы, назначение
2. Рассчитать и построить температурные зависимости pco(Tk), pco2(Tk), pco(Tk)/pco2(Tk)
3. Рассчитать и построить зависимость для заданной пары металл-окисел. Сделать вывод о возможности окисления заданного металла.
Часть 2 Диффузионное легирование полупроводников
-Полупроводник - легирующая примесь Cd→GaAs
(Cпред=3·1019 см-3)
-Исходная концентрация примеси в полупроводнике: N=2·1016 см-3
-Температура «загонки» и «разгонки»:
Тзаг=700 0С, Траз=900 0С
-Время «загонки» и «разгонки»:
tзаг=1мин, tраз=1ч
tзаг=3мин, tраз=2ч
tзаг=10мин, tраз=3ч
1. Рассчитать и построить зависимость коэффициента диффузии от температуры
2. Определить профиль легирующей примеси для каждого этапа диффузии и глубину p-n-перехода
Скачать курсовую работу с решением c Letitbit.net
или
Под этой строчкой в течении 30 секунд появится обещанная Вам ссылка: